在线询价
产品展示
PRODUCT SERIES
您现在的位置:首页 - 产品展示
产品展示
Product
Fluophase-SG01 价格:

Fluophase-SG01清洗剂尤其适用于半导体晶圆切割制程的冷却润滑、粉尘冲洗场景。该款产品主要用于在各种超硬脆性材料(单晶硅、多晶硅、锗、砷化镓、石英、氮化钢镓、宝石、非金属材料等)的切割工艺中,具有优异的润滑、冷却、防腐、防锈、氢气抑制功能,切割后的硅片表面TTV小,无线痕,并且能够延长金刚砂线的使用寿命。

微信扫码添加好友,获取产品技术文件

微信扫码添加好友,获取产品技术文件
(电话13687176779/027-8132 8375)
在线询价
详细内容 规格参数 产品应用

1.单组份,也可以根据切片机的不同可以适当添加消泡剂。

2.含有独特的化学清洗添加剂,使得切割后的硅晶片十分干净,便于切割后清洗。

3.优异的润滑作用,可有效防止切割过程中硅片发生脆性崩裂或者划痕产生,降低硅片的表面粗糙度和表面翘曲度,使得所加工硅片的总厚度偏差降到最低。

4.泡沫较少,方便使用。

5.所有的原材料均为环保物质,切割后的废水易于处理。

6.独特的悬浮性,避免硅粉沉积堵塞机器管道。

Fluophase-SG01清洗剂尤其适用于半导体晶圆切割制程的冷却润滑、粉尘冲洗场景,主要物性参数如下表:

项目外观密度(@20℃),kg/LPH值旋转粘度(@25℃),mPa·s表面张力,mN/mCOD,mg/L
参考值无色透明液体1.00±0.15-70-2025-30≤60万
检测参考标准目测ASTM D4052GB/T 23769GB/T 5561GB.T 22237HJ 828

详情及更多参数请拨打热线咨询。

SG01.jpg


应用场景

1.单晶硅晶圆的切割制程:在半导体单晶硅棒切片或晶圆划片过程中,作为冷却润滑液,有效降低切割热应力,同时冲洗硅粉,确保切割后表面TTV(总厚度变化)小、无线痕。

2.多晶硅硅锭或硅片的切割:用于多晶硅材料的线切割工艺,提供优异润滑和冷却,减少崩边和裂纹,提高切割良率。

3.砷化镓、氮化镓等化合物半导体材料的切割:适用于GaAs、GaN等脆性化合物晶片的切割,利用其防腐和防锈功能,保护材料表面并抑制切割过程中可能产生的氢气。

4.石英、宝石(蓝宝石)等非金属硬脆材料的加工:用于光学或电子级石英、蓝宝石衬底的切割,利用其超强润湿性实现高效粉尘冲洗,避免划伤表面。

5.金刚砂线切割设备的在线冷却润滑系统:作为金刚砂线切割机的工作液,持续润滑线材、冷却切割区域,并冲刷碎屑,从而显著延长金刚砂线使用寿命,同时保证切片表面质量。

如果您有其他应用场景需求,请拨打热线咨询。

二维码
联系我们
  • 13687176779
  • 地址:江苏省常州市新北区龙虎塘街道信息大道6号-6幢3楼
  • © 2026 氟相新材料(常州)有限责任公司  All Rights Reserved.   备案号:苏ICP备2025194337号-1